SEALING BUSINESS

シール事業

R.Pororoca

ポロロッカ

「ポロロッカ」とは、エア・ウォーター・マッハの液晶/半導体製造装置向けOリングの総称であり、新たなテクニカル・ブランドです。耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性等、過酷な化学環境と要求に対応し、半導体業界を始めとするハイテク分野に着実な足がかりを築いています。

特徴

  • 優れた耐熱性

    ゴム材料の中でも、最高の耐熱性をもつ特殊FFKMポリマーの採用並びに新たな硬化系を導入することで、高温プロセスでの使用も可能な耐熱目安350℃超耐熱グレードを実現しました。

  • 低パーティクル性・低アウトガス性に特化

    半導体・FPD製造工程において歩留まりを悪化させる原因となるパーティクル放出において、特殊充填材の配合により、プラズマからのダメージを軽減します。同じく歩留まり悪化要因となるシール部品からの放出ガスを微量化したグレードも取り揃えております。

  • 豊富なラインアップ

    創業以来培ってきた製造ノウハウと独自の配合技術により、豊富なラインアップから用途に合った最適な材料をご提案致します。既存ラインアップ対応によるコストパフォーマンス性も期待出来ます。

  • 各種耐性(耐溶剤・耐薬品・低溶出金属・低固着性 etc.)に特化

    耐溶剤性・低溶出金属性に優れたグレードをはじめ、各種薬品への耐性に応じた幅広い材料ご提案が可能です。

ラインナップ

プロセスの要求に応じて材料をお選びいただけます。

R.Pororoca am

ポロロッカ am

  • シリーズ最高350℃の超高温領域での使用が可能
  • 耐薬品性にも秀でている(アミン・スチーム環境下では注意)

R.Pororoca pm

ポロロッカ pm

  • 金属系充填材を含まず、純粋性に優れる
  • 耐熱性・耐プラズマ性に優れる

R.Pororoca fm

ポロロッカ fm

  • 耐プラズマ性に優れる
  • Nonカーボン素材、機械的特性も優れる

R.Pororoca 875B

ポロロッカ 875B

  • 幅広い耐薬品性(アミン、スチーム、オゾン含む)
  • シール性能が長寿命であり、機械的特性も優れる

R.Pororoca 251B

ポロロッカ 251B

  • バランスが良い 耐熱性・耐薬品性能 <耐熱目安:320℃>

R.Pororoca 252W

ポロロッカ 252W

  • 耐熱性を有する、Nonカーボン素材 <耐熱目安:300℃>

R.Pororoca G80C

ポロロッカ G80C

  • 金属系充填材を含まず、純粋性に優れる

R.Pororoca IOTA

ポロロッカ IOTA

  • 低アウトガス性能を徹底的に追及した、汎用フッ素ゴム

R.Pororoca nt

ポロロッカ nt

  • 汎用フッ素ゴムながら、耐熱目安250℃を保持する
  • 粘着・固着現象の低減を実現
  • 高い導電性能を有する

半導体用途シール選択ガイド

工程 用途/装置 推奨材料 各材質の特性
A)リソグラフィ
レジスト塗布・現像
  • レジスト管体のシール
  • 薬液ラインのシール

    コーター&デベロッパー

875B
  • 耐薬品性・機械的特性に優れる。
B)エッチング/アッシング
ウェットプロセス
  • 薬液ラインのシール

    エッチング装置

875B
  • 耐薬品性・機械的強度が優れる。
ドライプロセス
  • チャンバー内部品として
    チャンバーリッドシール
    ゲートバルブ etc.

    プラズマエッチング装置

    プラスマアッシング装置

pm
251B
252W
fm
  • 耐熱性・純粋性に優れる。
  • 耐熱性・機械的特性に優れる。
  • 耐熱性・耐プラズマ特性に優れる。
  • 耐プラズマ特性・機械的特性に優れる。
C)洗浄/レジスト剥離
レジスト剥離
  • 薬液ラインのシール

    レジスト剥離装置

  • 薬液ラインのシール
  • フィルター

    洗浄装置

875B
  • アミン系の剥離液に対する耐性に優れる。
  • 耐薬品性・機械的特性に優れる。
洗浄 G80C
  • 純粋性に優れる。
  • 抽出物が少ない。
D)酸化/拡散
 
  • 炉体のシール

    酸化・拡散炉

    ランプアニール装置

am
251B
IOTA
  • 耐熱性に最も優れる。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械的特性に優れる。
  • 低固着性に優れ、高い導電性を有する。
  • 放出ガスが少ない。
E)電極/配線
 
  • チャンバー内シール

    スパッタリング装置

    メタルCVD装置

am
251B
  • 耐熱性に最も優れる。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械的特性に優れる。
F)絶縁膜形成
 
  • チャンバー内シール

    (プラズマ)CVD装置

    LP-CVD装置

pm
IOTA
  • 耐熱性・純粋性に優れる。
  • 低固着性に優れ、高い導電性を有する。
  • 放出ガスが少ない。
G)研磨
化学的物理的研磨
  • チャンバー内シール
  • 薬液ラインのシール

    CMP装置

875B
  • 耐薬品性・機械的特性に優れる。
  • 抽出物が少ない。

シリーズ物性一覧

材料名\常態物性 耐熱目安
硬度
ショアA
引張強度
MPa
100%
引張応力
MPa
伸び
圧縮永久歪
JIS試験片
200℃70H
圧縮永久歪
Oring
200℃70H
圧縮永久歪
Oring
300℃70H
試験条件 JIS
K6253
JIS K6251 JIS K6262
圧縮率:25%
Oring:P25
圧縮率:25%
R.Pororoca
am
3507715.510.4150313
R.Pororoca
pm
3207615.85.22102172
R.Pororoca
fm
2207417.310.520028
R.Pororoca
875B
2207516.56.31801218
R.Pororoca
251B
32075218.7210161839
R.Pororoca
252W
30075187.12603363
R.Pororoca
G80C
琥珀2208019.33.543054
R.Pororoca
IOTA
2207515.84.724610200℃加熱
アウトガス量
9.0μg/g
R.Pororoca
nt
2508216.511.516025体積抵抗率
2×101 Ω・㎝

シリーズ耐性一覧

  • 【用途】
  • :推奨する
  • :使用可能
  • :箇所により使用可能
  • ×:推奨しない
材料名\項目 ベースポリマー 推奨用途
D:ドライ
W:ウェット
重金属溶出 加熱発生ガス 耐薬品性 耐プラズマ性
有機酸 無機酸 アミン 溶剤 高濃度オゾン 酸素 ハロゲン
R.Pororoca
am
FFKMD
R.Pororoca
pm
FFKMD
R.Pororoca
fm
FFKMD
R.Pororoca
875B
FFKMD/W
R.Pororoca
251B
FFKMD/W
R.Pororoca
252W
FFKMD
R.Pororoca
G80C
FKMD
R.Pororoca
IOTA
FKMD
R.Pororoca
nt
FKMD