SEALING BUSINESS

密封业务

R.Pororoca

Pororoca

「Pororoca」是爱沃特玛铪的一个新的技术品牌,以液晶/半导体制造设备领域为主,面向化学成套设备制造厂以及所有恶劣条件下能够使用的O型圈的统称。针对恶劣的化学环境以及耐热性,耐化学性,耐等离子性等要求,我们正在包括半导体行业在内的高科技领域建立稳定的立足点。

特征

  • 优异的耐热性

    在橡胶材料中,采用具有最高耐热性的特殊FFKM聚合物并引入新的固化系统,实现了350℃超耐热等级,可用于高温工艺。

  • 专门用于低粒子和低释气

    对于在半导体/ FPD制造过程中的造成成品率下降的粒子释放,通过特殊的填充材料配方从而减少了等离子体的损害。我们还具备了从密封部件中修整排放气体的等级,从而减少成品率的下降。

  • 多样化的生产线

    我们将从我们的基础和原始混合技术的基础上,通过制造专业知识,从丰富的产品阵容中提出适合应用的最佳材料。通过对应现有生产线可以预期成本绩效。

  • 专业生产各种耐受性材料(耐溶剂,耐药,低洗脱金属,低附着力等)

    根据对各种化学品的耐受性,可以提出多种材料,包括耐溶剂性和低洗脱金属性能的等级。

阵容

可以根据工艺要求选择材料

R.Pororoca am

Pororoca am

  • 可在350°C的极高温度范围内使用
  • 耐药品性也很好(胺·蒸汽环境下需要注意)

R.Pororoca 875B

Pororoca 875B

  • 广泛的耐药品性(包括胺,蒸汽和臭氧)
  • 密封性能具有长寿命和优异的机械性能

R.Pororoca 251B

Pororoca 251B

  • 平衡耐热性•耐化学性<耐热性标准:320℃>

R.Pororoca 252W

Pororoca 252W

  • 耐热,非碳材料<耐热:300℃>

R.Pororoca G80C

Pororoca G80C

  • 不含金属填充材料,纯度极佳

R.Pororoca IOTA

Pororoca IOTA

  • 通用氟橡胶,彻底追求低释气性能

半导体应用密封选择指南

工程 用途/设备 推荐材料 各种材料的特性
A)光刻
树脂套件涂层•显像
  • 树脂套件管体的密封
  • 药液系统的密封

    编程人员&开发人员

875B
  • 优异的耐药品性•机械特性
B)蚀刻/灰化
湿过程
  • 药液系统的密封

    蚀刻装置

875B
  • 优异的耐药品性和机械强度
干燥过程
  • 作为腔室内部部件
    腔室密封盖•闸阀

    等离子蚀刻装置

    等离子灰化设备

251B
252W
  • 优异的耐热性和纯度
  • 优异的耐热性和机械性能
  • 优异的耐热性•耐等离子体特性
  • 优异的耐等离子特性•机械特性
C)洗净/树脂套件剥离
树脂套件剥离
  • 药液系统的密封

    树脂套件剥离装置

  • 药液系统的密封
  • 过滤器

    洗净装置

875B
  • 对胺类剥离溶液具有出色的耐受性
  • 优异的耐药品性•机械特性
洗净 G80C
  • 纯度极佳
  • 少提取物
D)氧化/扩散
 
  • 炉体密封

    氧化/扩散炉

    光源热处理装置

am
251B
IOTA
  • 耐热性最优异。(最高350°C)
  • 优异的耐热性和机械性能
  • 具有优异的低粘附性和高导电性
  • 气体排放少
E)电极/布线
 
  • 腔内密封

    溅射设备

    金属CVD设备

am
251B
  • 耐热性最优异。(最高350°C)
  • 优异的耐热性和机械性能
F)绝缘膜形成
 
  • 腔内密封

    (等离子体)CVD装置

    LP-CVD装置

IOTA
  • 优异的耐热性•纯度
  • 具有优异的低粘附性和高导电性
  • 气体排放少
G)抛光
化学物理性抛光
  • 腔内密封
  • 药液系统的密封

    CMP装置

875B
  • 优异的耐药品性•机械特性
  • 少提取物

系列物理属性列表

材料名/常态物性 颜色 耐热等级
硬度
Shore A
拉伸强度
MPa
100%
拉伸应力
MPa
伸长率
压缩永久变形
JIS试验片
200℃70H
压缩永久变形
Oring
200℃70H
压缩永久变形
Oring
300℃70H
试验条件 JIS
K6253
JIS K6251 JIS K6262
压缩率:25%
Oring:P25
压缩率:25%
R.Pororoca
am
3507715.510.4150313
R.Pororoca
875B
2207516.56.31801218
R.Pororoca
251B
32075218.7210161839
R.Pororoca
252W
30075187.12603363
R.Pororoca
G80C
琥珀2208019.33.543054
R.Pororoca
IOTA
2207515.84.724610200℃加热
加热出气量
9.0μg/g

系列耐性一览

  • 【用途】
  • :推荐
  • :可用
  • :根据部位可用
  • ×:不推荐
材料名/项目 基础聚合物 推荐用途
D:干燥
W:湿润
重金属溶出 加热气体 耐药品性 等离子电阻
有机酸 无机酸 溶剂 高浓度臭氧 卤素
R.Pororoca
am
FFKMD
R.Pororoca
875B
FFKMD/W
R.Pororoca
251B
FFKMD/W
R.Pororoca
252W
FFKMD
R.Pororoca
G80C
FKMD
R.Pororoca
IOTA
FKMD