O环（Pororoca）｜爱沃特玛铪有限公司

SEALING BUSINESS

密封业务

Pororoca

「Pororoca」是爱沃特玛铪的一个新的技术品牌，以液晶/半导体制造设备领域为主，面向化学成套设备制造厂以及所有恶劣条件下能够使用的O型圈的统称。针对恶劣的化学环境以及耐热性，耐化学性，耐等离子性等要求，我们正在包括半导体行业在内的高科技领域建立稳定的立足点。

特征

优异的耐热性

在橡胶材料中，采用具有最高耐热性的特殊FFKM聚合物并引入新的固化系统，实现了350℃超耐热等级，可用于高温工艺。
专门用于低粒子和低释气

对于在半导体/ FPD制造过程中的造成成品率下降的粒子释放，通过特殊的填充材料配方从而减少了等离子体的损害。我们还具备了从密封部件中修整排放气体的等级，从而减少成品率的下降。
多样化的生产线

我们将从我们的基础和原始混合技术的基础上，通过制造专业知识，从丰富的产品阵容中提出适合应用的最佳材料。通过对应现有生产线可以预期成本绩效。
专业生产各种耐受性材料（耐溶剂，耐药，低洗脱金属，低附着力等）

根据对各种化学品的耐受性，可以提出多种材料，包括耐溶剂性和低洗脱金属性能的等级。

可以根据工艺要求选择材料

Pororoca am

Pororoca 875B

Pororoca 251B

Pororoca 252W

Pororoca cf

Pororoca G80C

Pororoca IOTA

工程	用途/设备	推荐材料	各种材料的特性
A）光刻
树脂套件涂层•显像	树脂套件管体的密封药液系统的密封编程人员&开发人员	875B	优异的耐药品性
B）蚀刻/灰化
湿过程	药液系统的密封蚀刻装置	875B	优异的耐药品性
干燥过程	作为腔室内部部件腔室密封盖•闸阀等离子蚀刻装置等离子灰化设备	251B 252W	优异的耐热性优异的耐等离子特性
C）洗净／树脂套件剥离
树脂套件剥离	药液系统的密封树脂套件剥离装置药液系统的密封过滤器洗净装置	875B	优异的耐药品性
洗净	药液系统的密封树脂套件剥离装置药液系统的密封过滤器洗净装置	G80C	纯度极佳
D）氧化/扩散
	炉体密封氧化/扩散炉光源热处理装置	am 251B cf	优异的耐热性气体排放少
E）电极/布线
	腔内密封溅射设备金属CVD设备	am 251B	优异的耐热性
F）绝缘膜形成
	腔内密封（等离子体）CVD装置 LP-CVD装置	IOTA	优异的耐热性气体排放少
G）抛光
化学物理性抛光	腔内密封药液系统的密封 CMP装置	875B	优异的耐药品性

材料名/项目	基础聚合物	推荐用途 D：干燥 W：湿润	重金属溶出	加热气体	耐药品性					等离子电阻
材料名/项目	基础聚合物	推荐用途 D：干燥 W：湿润	重金属溶出	加热气体	有机酸	无机酸	胺	溶剂	高浓度臭氧	氧	卤素
Pororoca am	FFKM	D	〇	〇	－	－	－	－	－	〇	〇
Pororoca 875B	FFKM	D/W	〇	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 251B	FFKM	D/W	△	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 252W	FFKM	D	－	〇	－	－	－	－	－	〇	◎
Pororoca G80C	FKM	D	◎	△	－	－	－	－	－	△	△
Pororoca IOTA	FKM	D	－	◎	－	－	－	－	－	△	△
Pororoca cf	FKM	D	－	〇	－	－	－	－	－	－	－