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SEALING BUSINESS

密封圈事業

Pororoca

Pororoca

「Pororoca」是AIR WATER MACH的高端品牌名稱，液晶／半導體製程設備、化學工廠等各種嚴苛環境條件下所使用的O-RING總稱。使用於嚴苛的化學環境以及耐熱性、耐化學性、耐電漿等要求，立足於半導體業等高科技領域。

特徵

  • 優越的耐熱性

    導入最高耐熱性的特殊 FFKM 聚合物，擁有可用於高溫製程的耐熱等級。

  • 低Particle性・低Outgas性

    對於在半導體/ FPD製造過程中導致良率惡化原因的Particle釋出，透過特殊充填材調配，減少因Plasma造成的傷害。另外，同樣導致良率惡化原因的Outgas問題，我們也有相對應的產品可以提供。

  • 豐富的產品線

    創業以來培育至今的製造技術以及獨自的調配技術，從豐富的產品線中依照客戶用途提案最適切的材料。從既有產品線中提供更具性價比的產品。

  • 各種耐性（耐溶劑･耐藥性･低金屬溶出物･低黏著性等）

    可依據各種化學品的耐藥性提供相對應的材質，如耐溶劑性・低金屬溶出物性等。

產品線

依據製程要求選擇材料。

Pororoca 875B

Pororoca 875B

  • 具廣泛的耐藥性（包含胺、水蒸氣、臭氧）
  • 密封性能壽命長、機械特性亦優越

Pororoca 251B

Pororoca 251B

  • 具各項密封有需特性，耐熱性・耐藥性能　＜耐熱目標：320℃＞

Pororoca 252W

Pororoca 252W

  • 耐熱性、NonCarbon素材　＜耐熱目標：300℃＞

Pororoca G80C

Pororoca G80C

  • 不含金屬系填充材、純粋性優越

Pororoca IOTA

Pororoca IOTA

  • 徹底追求低Out Gas性能、通用氟橡膠

半導體用途密封材選擇指南

製程 用途／設備 推薦材料 各材質特性
A）黃光製程
光阻塗布・顯影
  • 光阻管內的密封材
  • 藥液管線的密封材

    塗布機＆顯影機

 875B
  • 耐藥性優越。
B）Etching／Ashing
濕製程
  • 藥液管線的密封材

    蝕刻設備

 875B
  • 耐藥性優越。
乾製程
  • Chamber內部品
    Chamber蓋密封・
    Gate Valve等

    Plasma Etching設備

    Plasma Ashing設備

 251B
252W
  • 耐熱性優越。
  • 耐Plasma特性優越。
C）洗淨／光阻剝離
光阻剝離
  • 藥液管線的密封材

    光阻剝離設備

  • 藥液管線的密封材
  • 過濾

    洗淨設備

 875B
  • 耐藥性優越。
洗淨 G80C
  • 純粋性優越。
D）氧化／擴散
 
  • 爐體的密封材

    氧化・擴散爐

    Lamp Anneal設備

 251B
  • 耐熱性優越。
E）電極／配線
 
  • Chamber內密封材

    Sputtering設備

    Metal CVD設備

 251B
  • 耐熱性優越。
F）絕緣膜形成
 
  • Chamber內密封材

    (Plasma)CVD設備

    LP-CVD装置

 IOTA
  • 耐熱性優越。
  • 釋出氣體少。
G）研磨
化學性物理性研磨
  • Chamber內密封材
  • 藥液管線的密封材

    CMP設備

 875B
  • 耐藥性優越。

系列產品物性一覽表

材料名＼常態物性 顏色 耐熱目標
℃		 硬度
Shore A		 抗拉強度
MPa		 100％
抗拉應力
MPa		 拉伸率
％		 壓縮永久變形
JIS試驗片
200℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
200℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
250℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
300℃70H
％		 200℃加熱
釋出氣體量
μg/g
測試條件 － － JIS
K6253		 JIS K6251 JIS K6262
壓縮率：25％		 Oring：P25
壓縮率：25％		 －
Pororoca
875B		 黑色 220 75 16.5 6.3 180 12 18 － － －
Pororoca
251B		 黑色 320 75 21 8.7 210 16 18 － 39 －
Pororoca
252W		 白色 300 75 18 7.1 260 － 33 － 63 －
Pororoca
G80C		 琥珀色 220 80 19.3 3.5 430 － 54 － － －
Pororoca
IOTA		 黑色 220 75 15.8 4.7 246 10 － － － 9.0

系列產品耐性一覽表

  • 【用途】
  • ◎：推薦材料
  • ○：可使用
  • △：根據環境使用
  • ×：不推薦
材料名＼項目 原物料 推薦用途
D：乾製程
W：濕製程		 重金屬溶出 加熱產生氣體 耐藥性 耐Plasma性
有機酸 無機酸 胺 溶劑 高濃度臭氧 氧氣 鹵素
Pororoca
875B		 FFKM D/W 〇 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 〇
Pororoca
251B		 FFKM D/W △ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 〇
Pororoca
252W		 FFKM D － 〇 － － － － － 〇 ◎
Pororoca
G80C		 FKM D ◎ △ － － － － － △ △
Pororoca
IOTA		 FKM D － ◎ － － － － － △ △
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