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SEALING BUSINESS

密封圈事業

Pororoca

Pororoca

「Pororoca」是AIR WATER MACH的高端品牌名稱，液晶／半導體製程設備、化學工廠等各種嚴苛環境條件下所使用的O-RING總稱。使用於嚴苛的化學環境以及耐熱性、耐化學性、耐電漿等要求，立足於半導體業等高科技領域。

特徵

優越的耐熱性

在橡膠材料中，採用具有最高耐熱性的特殊FFKM聚合物並導入新固化系，實現了350℃超耐熱等級，可用於高溫製程。
低Particle性・低Outgas性

對於在半導體/ FPD製造過程中導致良率惡化原因的Particle釋出，透過特殊充填材調配，減少因Plasma造成的傷害。另外，同樣導致良率惡化原因的Outgas問題，我們也有相對應的產品可以提供。
豐富的產品線

創業以來培育至今的製造技術以及獨自的調配技術，從豐富的產品線中依照客戶用途提案最適切的材料。從既有產品線中提供更具性價比的產品。
各種耐性（耐溶劑･耐藥性･低金屬溶出物･低黏著性等）

可依據各種化學品的耐藥性提供相對應的材質，如耐溶劑性・低金屬溶出物性等。

產品線

依據製程要求選擇材料。

Pororoca am

Pororoca am

系列中最高耐溫350℃，可使用在超高溫領域
在耐藥性亦卓越（在胺・水蒸氣環境下需注意）

Pororoca 875B

Pororoca 875B

具廣泛的耐藥性（包含胺、水蒸氣、臭氧）
密封性能壽命長、機械特性亦優越

Pororoca 251B

Pororoca 251B

具各項密封有需特性，耐熱性・耐藥性能　＜耐熱目標：320℃＞

Pororoca 252W

Pororoca 252W

耐熱性、NonCarbon素材　＜耐熱目標：300℃＞

Pororoca cf

Pororoca cf

耐熱性、低固著性優越　＜耐熱目標：250℃＞

Pororoca G80C

Pororoca G80C

不含金屬系填充材、純粋性優越

Pororoca IOTA

Pororoca IOTA

徹底追求低Out Gas性能、通用氟橡膠

半導體用途密封材選擇指南

製程	用途／設備	推薦材料	各材質特性
A）黃光製程
光阻塗布・顯影	光阻管內的密封材藥液管線的密封材塗布機＆顯影機	875B	耐藥性優越。
B）Etching／Ashing
濕製程	藥液管線的密封材蝕刻設備	875B	耐藥性優越。
乾製程	Chamber內部品 Chamber蓋密封・ Gate Valve等 Plasma Etching設備 Plasma Ashing設備	251B 252W	耐熱性優越。耐Plasma特性優越。
C）洗淨／光阻剝離
光阻剝離	藥液管線的密封材光阻剝離設備藥液管線的密封材過濾洗淨設備	875B	耐藥性優越。
洗淨	藥液管線的密封材光阻剝離設備藥液管線的密封材過濾洗淨設備	G80C	純粋性優越。
D）氧化／擴散
	爐體的密封材氧化・擴散爐 Lamp Anneal設備	am 251B cf	耐熱性優越。釋出氣體少。
E）電極／配線
	Chamber內密封材 Sputtering設備 Metal CVD設備	am 251B	耐熱性優越。
F）絕緣膜形成
	Chamber內密封材 (Plasma)CVD設備 LP-CVD装置	IOTA	耐熱性優越。釋出氣體少。
G）研磨
化學性物理性研磨	Chamber內密封材藥液管線的密封材 CMP設備	875B	耐藥性優越。

系列產品物性一覽表

材料名＼常態物性	顏色	耐熱目標 ℃	硬度 Shore A	抗拉強度 MPa	100％抗拉應力 MPa	拉伸率％	壓縮永久變形 JIS試驗片 200℃70H ％	壓縮永久變形 Oring 200℃70H ％	壓縮永久變形 Oring 250℃70H ％	壓縮永久變形 Oring 300℃70H ％	200℃加熱釋出氣體量 μg/g
測試條件	－	－	JIS K6253	JIS K6251			JIS K6262 壓縮率：25％	Oring：P25 壓縮率：25％			－
Pororoca am	黑色	350	77	15.5	10.4	150	－	3	－	13	－
Pororoca 875B	黑色	220	75	16.5	6.3	180	12	18	－	－	－
Pororoca 251B	黑色	320	75	21	8.7	210	16	18	－	39	－
Pororoca 252W	白色	300	75	18	7.1	260	－	33	－	63	－
Pororoca G80C	琥珀色	220	80	19.3	3.5	430	－	54	－	－	－
Pororoca IOTA	黑色	220	75	15.8	4.7	246	10	－	－	－	9.0
Pororoca cf	黑色	250	75	14.1	7.4	200	9	－	24	－	－

系列產品耐性一覽表

【用途】
◎：推薦材料
○：可使用
△：根據環境使用
×：不推薦

材料名＼項目	原物料	推薦用途 D：乾製程 W：濕製程	重金屬溶出	加熱產生氣體	耐藥性					耐Plasma性
材料名＼項目	原物料	推薦用途 D：乾製程 W：濕製程	重金屬溶出	加熱產生氣體	有機酸	無機酸	胺	溶劑	高濃度臭氧	氧氣	鹵素
Pororoca am	FFKM	D	〇	〇	－	－	－	－	－	〇	〇
Pororoca 875B	FFKM	D/W	〇	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 251B	FFKM	D/W	△	〇	◎	◎	◎	◎	◎	〇	〇
Pororoca 252W	FFKM	D	－	〇	－	－	－	－	－	〇	◎
Pororoca G80C	FKM	D	◎	△	－	－	－	－	－	△	△
Pororoca IOTA	FKM	D	－	◎	－	－	－	－	－	△	△
Pororoca cf	FKM	D	－	〇	－	－	－	－	－	－	－

密封圈事業技術資訊