SEALING BUSINESS

密封圈事業

R.Pororoca

R.Pororoca

「Pororoca」是AIR WATER MACH的高端品牌名稱,液晶/半導體製程設備、化學工廠等各種嚴苛環境條件下所使用的O-RING總稱。使用於嚴苛的化學環境以及耐熱性、耐化學性、耐電漿等要求,立足於半導體業等高科技領域。

特徵

  • 優越的耐熱性

    在橡膠材料中,採用具有最高耐熱性的特殊FFKM聚合物並導入新固化系,實現了350℃超耐熱等級,可用於高溫製程。

  • 低Particle性・低Outgas性

    對於在半導體/ FPD製造過程中導致良率惡化原因的Particle釋出,透過特殊充填材調配,減少因Plasma造成的傷害。另外,同樣導致良率惡化原因的Outgas問題,我們也有相對應的產品可以提供。

  • 豐富的產品線

    創業以來培育至今的製造技術以及獨自的調配技術,從豐富的產品線中依照客戶用途提案最適切的材料。從既有產品線中提供更具性價比的產品。

  • 各種耐性(耐溶劑・耐藥性・低金屬溶出物・低黏著性等)

    可依據各種化學品的耐藥性提供相對應的材質,如耐溶劑性・低金屬溶出物性等。

產品線

依據製程要求選擇材料。

R.Pororoca am

R.Pororoca am

  • 系列中最高耐溫350℃,可使用在超高溫領域
  • 在耐藥性亦卓越(在胺・水蒸氣環境下需注意)

R.Pororoca 875B

R.Pororoca 875B

  • 具廣泛的耐藥性(包含胺、水蒸氣、臭氧)
  • 密封性能壽命長、機械特性亦優越

R.Pororoca 251B

R.Pororoca 251B

  • 具各項密封有需特性,耐熱性・耐藥性能 <耐熱目標:280℃>

R.Pororoca 252W

R.Pororoca 252W

  • 耐熱性、NonCarbon素材 <耐熱目標:260℃>

R.Pororoca G80C

R.Pororoca G80C

  • 不含金屬系填充材、純粋性優越

R.Pororoca IOTA

R.Pororoca IOTA

  • 徹底追求低Out Gas性能、通用氟橡膠

半導體用途密封材選擇指南

製程 用途/設備 推薦材料 各材質特性
A)黃光製程
光阻塗布・顯影
  • 光阻管內的密封材
  • 藥液管線的密封材

    塗布機&顯影機

875B
  • 耐藥性・機械特性優越。
B)Etching/Ashing
濕製程
  • 藥液管線的密封材

    蝕刻設備

875B
  • 耐藥性・機械性強度優越。
乾製程
  • Chamber內部品
    Chamber蓋密封・
    Gate Valve等

    Plasma Etching設備

    Plasma Ashing設備

251B
252W
  • 耐熱性・純粋性優越。
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 耐熱性・耐Plasma特性優越。
  • 耐Plasma特性・機械特性優越。
C)洗淨/光阻剝離
光阻剝離
  • 藥液管線的密封材

    光阻剝離設備

  • 藥液管線的密封材
  • 過濾

    洗淨設備

875B
  • 耐胺類之剝離液表現優越。
  • 耐藥性・機械特性優越。
洗淨 G80C
  • 純粋性優越。
  • 抽出物少。
D)氧化/擴散
 
  • 爐體的密封材

    氧化・擴散爐

    Lamp Anneal設備

am
251B
IOTA
  • 耐熱性最為優越。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 低固著性優越、擁有高導電性。
  • 釋出氣體少。
E)電極/配線
 
  • Chamber內密封材

    Sputtering設備

    Metal CVD設備

am
251B
  • 耐熱性最為優越。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械特性優越。
F)絕緣膜形成
 
  • Chamber內密封材

    (Plasma)CVD設備

    LP-CVD装置

IOTA
  • 耐熱性・純粋性優越。
  • 低固著性優越、擁有高導電性。
  • 釋出氣體少。
G)研磨
化學性物理性研磨
  • Chamber內密封材
  • 藥液管線的密封材

    CMP設備

875B
  • 耐藥性・機械特性優越。
  • 抽出物少。

系列產品物性一覽表

材料名\常態物性 顏色 耐熱目標
硬度
Shore A
抗拉強度
MPa
100%
抗拉應力
MPa
拉伸率
壓縮永久變形
JIS試驗片
200℃70H
壓縮永久變形
Oring
200℃70H
壓縮永久變形
Oring
300℃70H
測試條件 JIS
K6253
JIS K6251 JIS K6262
壓縮率:25%
Oring:P25
壓縮率:25%
R.Pororoca
am
黑色3507715.510.4150313
R.Pororoca
875B
黑色2207516.56.31801218
R.Pororoca
251B
黑色 32075218.7210161839
R.Pororoca
252W
白色 30075187.12603363
R.Pororoca
G80C
琥珀色2208019.33.543054
R.Pororoca
IOTA
黑色2207515.84.724610200℃加熱
釋出氣體量
9.0μg/g

系列產品耐性一覽表

  • 【用途】
  • :推薦材料
  • :可使用
  • :根據環境使用
  • ×:不推薦
材料名\項目 原物料 推薦用途
D:乾製程
W:濕製程
重金屬溶出 加熱產生氣體 耐藥性 耐Plasma性
有機酸 無機酸 溶劑 高濃度臭氧 氧氣 鹵素
R.Pororoca
am
FFKMD
R.Pororoca
875B
FFKMD/W
R.Pororoca
251B
FFKMD/W
R.Pororoca
252W
FFKMD
R.Pororoca
G80C
FKMD
R.Pororoca
IOTA
FKMD