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業界世界初の超耐熱性能を有するOリングを開発しました(ポロロッカam)

投稿日:2018.08.01

am_image.jpg弊社はOリング業界では世界で初めて、350℃の高耐熱性能を有するパーフルオロエラストマー製Oリング"ポロロッカam"の開発に成功しました。
この新材料・新製法を用いたOリングの販売を開始することといたしましたので、お知らせいたします。
本開発品"ポロロッカam"は、9月からサンプル供給を開始し、2019年1月から量産を開始する予定です。

 

新開発品"ポロロッカam"の特徴

現在、世界で市販されている超高温用のOリングでは、325℃前後がその耐熱性能の目安とされていますが、近年、半導体プロセスの高度な微細化が進むにつれ、半導体製造装置のシール材には更に高い耐熱性能が要求されるようになっています。
新開発Oリングは、最大350℃の耐熱性能を有し、且つ、現在、関連市場からの要求度が高い300℃の長期連続使用下(1ヵ月間)においても、Oリングとしての基本特性である圧縮性能や力学的強度等を保ち、安定したシール性能を発揮することから、高い耐熱性能が要求されるドライエッチングやALD(原子層堆積)の排気系シール材に適しています。
新開発Oリングを使用することによって、超高温域の使用環境下であってもOリングのシール性能が低下する変形、崩壊、クラック等の発生が大幅に抑制されることから、Oリングの交換に要するメンテンス頻度の削減(設備稼働率の向上)が進み、半導体製造コストの大幅な低減に貢献します。

 

ニュースリリースについて

エア・ウォーター株式会社のニュースリリースとして発表されております。
2018年8月1日「350℃の高耐熱性能を有する半導体製造装置用Oリングを開発」からご覧ください。

 

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