製品情報<ポロロッカ> ［エア・ウォーター・マッハ株式会社］

ポロロッカ

「ポロロッカ」とは、液晶/半導体製造装置向けＯリングの総称であり、エア・ウォーター・マッハの新たなテクニカル・ブランドです。耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性等、過酷な化学環境と要求に対応します。Ｏリングなどのシール部品のカスタマイズを得意とし、現在、半導体業界を始めとするハイテク分野に着実な足がかりを築きつつあります。

特徴

プロセスの要求に応じて材料を選定いただけます。

耐熱・耐薬品性能……………
耐熱・長寿命…………………
ノンメタル・低アウトガス…
ノンメタル……………………
低アウトガス…………………

R.Pororoca 251B
R.Pororoca 231B
SuperPororoca BETA
R.Pororoca G80C
SuperPororoca IOTA

Ｏリングに要求されるゴムの特性

耐熱・耐薬品シリーズ(R.Pororoca 231B / R.Pororoca 251B)

シリーズ最高の耐熱性（最大320℃）をもっています。耐薬品性にも優れる一方、耐プラズマ性を兼ね備えており、あらゆる過酷なプロセスでの使用が可能です。

スタンダードシリーズ(R.Pororoca G80C / SuperPororoca BETA / SuperPororoca IOTA)

高密度・高精細化が進む半導体／液晶製造装置向けに、低アウトガス・低金属性を追求し、かつコストパフォーマンスに優れた製品となっております。

適用工程

工程／プロセス	R.Pororoca 231B	R.Pororoca 251B	R.Pororoca G80C	SuperPororoca BETA	SuperPororoca IOTA
プラズマ蝕刻エッチング/アッシング	○	○	○	○	△
プラズマ成膜 HDPCVD/PECVD	△	△	○	○	△
高温プロセス 300℃超え	○	○	×	△	×
ウェット工程	○	○	○	○	△

物性表

常態物性	R.Pororoca 231B	R.Pororoca 251B	R.Pororoca G80C	SuperPororoca BETA	SuperPororoca IOTA
硬度 A	75	75	80	74	75
引張強さ MPa	14.3	19.1	19.3	15.1	15.8
100%M MPa	5.8	6.8	3.5	3.4	4.8
伸び %	160	220	430	270	250
圧縮永久歪 % 70hrs@200℃	16	16	54	19	10

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